Pedro Miguel Neves Ribeiro Paulo


AuthID: R-000-F0K

Publicações a aguardar confirmação

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TÍTULO: KrF excimer laser dry and steam cleaning of silicon surfaces with metallic particulate contaminants  Full Text
AUTORES: Neves, P; Arronte, M; Vilar, R ; do Rego, AMB ;
PUBLICAÇÃO: 2002, FONTE: APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, VOLUME: 74, NÚMERO: 2
INDEXADO EM: Scopus WOS CrossRef
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