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Piezoresistor Sensor Fabrication by Direct Laser Writing on Hydrogenated Amorphous Silicon
AuthID
P-00F-ZFT
5
Author(s)
Alpuim, P
·
Cerqueira, MF
·
Junior, G
·
Gaspar, J
·
Borme, J
Tipo de Documento
Proceedings Paper
Year published
2014
Publicado
in
Materials Research Society Symposium Proceedings,
ISSN: 0272-9172
Volume: 1594
Conference
2013 Jsap-Mrs Joint Symposia,
Date:
16 September 2013 through 20 September 2013,
Location:
Kyoto
Indexing
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1557/opl.2014.296
SCOPUS
: 2-s2.0-84898952915
Source Identifiers
ISSN
: 0272-9172
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