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TÍTULO: CATHODIC BOMBARDMENT AND SPUTTERING IN THE 0.5-4.0 TORR PRESSURE REGION OF A GLOW-DISCHARGE ION-SOURCE
AUTORES: MASON, RS; MILTON, DMP; PICHILINGI, M; ANDERSON, PDJ; FERNANDEZ, MT;
PUBLICAÇÃO: 1994, FONTE: RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY, VOLUME: 8, NÚMERO: 2
INDEXADO EM: WOS