1
TÍTULO: Capacitively coupled radio-frequency hydrogen discharges: The role of kinetics  Full Text
AUTORES: Marques, L ; Jolly, J; Alves, LL ;
PUBLICAÇÃO: 2007, FONTE: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, VOLUME: 102, NÚMERO: 6
INDEXADO EM: Scopus WOS CrossRef
2
TÍTULO: Electrical Characterization of Capacitively Coupled Radio Frequency Discharges in Hydrogen  Full Text
AUTORES: Luis S A Marques ; Jacques Jolly; Luis L Alves ;
PUBLICAÇÃO: 2007, FONTE: PLASMA PROCESSES AND POLYMERS, VOLUME: 4, NÚMERO: SUPPL.1
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3
TÍTULO: Systematic characterization of low-pressure capacitively coupled hydrogen discharges  Full Text
AUTORES: Salabas, A; Marques, L ; Jolly, J; Gousset, G; Alves, LL ;
PUBLICAÇÃO: 2004, FONTE: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, VOLUME: 95, NÚMERO: 9
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4
TÍTULO: Capacitively coupled hydrogen discharges: Modeling vs. experiment
AUTORES: Marques, L ; Jolly, J; Gousset, G; Alves, LL ;
PUBLICAÇÃO: 2004, FONTE: 8th Thermal Plasma Processes Symposium in HIGH TEMPERATURE MATERIAL PROCESSES, VOLUME: 8, NÚMERO: 4
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5
TÍTULO: Two-dimensional modelling of SiH4-H-2 radio-frequency discharges for a-Si : H deposition
AUTORES: Leroy, O; Gousset, G; Alves, LL ; Perrin, J; Jolly, J;
PUBLICAÇÃO: 1998, FONTE: PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, VOLUME: 7, NÚMERO: 3
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