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TÍTULO: Permeation barrier performance of Hot Wire-CVD grown silicon-nitride films treated by argon plasma  Full Text
AUTORES: Majee, S; Cerqueira, MF ; Tondelier, D; Vanel, JC; Geffroy, B; Bonnassieux, Y; Alpuim, P ; Bouree, JE;
PUBLICAÇÃO: 2015, FONTE: THIN SOLID FILMS, VOLUME: 575
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TÍTULO: Effect of argon ion energy on the performance of silicon nitride multilayer permeation barriers grown by hot-wire CVD on polymers  Full Text
AUTORES: Alpuim, P ; Majee, S; Cerqueira, MF ; Tondelier, D; Geffroy, B; Bonnassieux, Y; Bouree, JE;
PUBLICAÇÃO: 2015, FONTE: THIN SOLID FILMS, VOLUME: 595
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3
TÍTULO: Influence of low energy argon plasma treatment on the moisture barrier performance of hot wire-CVD grown SiNx multilayers
AUTORES: Subimal Majee; Maria Fatima Cerqueira ; Denis Tondelier; Bernard Geffroy; Yvan Bonnassieux; Pedro Alpuim ; Jean Eric Bouree;
PUBLICAÇÃO: 2014, FONTE: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, VOLUME: 53, NÚMERO: 5
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