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TÍTULO: Room temperature synthesis of porous SiO2 thin films by plasma enhanced chemical vapor deposition
AUTORES: Barranco, A; Cotrino, J; Yubero, F; Espinos, JP; Gonzalez Elipe, AR;
PUBLICAÇÃO: 2004, FONTE: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, VOLUME: 22, NÚMERO: 4
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